纳米级表面形貌检测系统单一来源采购前公示

*、项目信息      

采购人：沈哲      

项目名称：纳米级表面形貌检测系统             

预算金额：**万

拟采购项目概况：针对半导体芯片、超表面器件、微电子以及超高亮度发光*极管等复杂且微小的结构，进行从微米到纳米尺度的表面形貌测量，实现对轮廓形状、表面粗糙度及尺寸的精准分析与评价。用于在微米到纳米尺度范围内，对材料或器件的表面形貌进行全面的表征，从而确保其尺寸、形状和粗糙度的精确测量。主要指标要求最大晶圆尺寸:*****(* 英寸)；最大样品厚度:**** (* 英寸)；台阶高度重现性:&**;*?,*σ在*μ*台阶上；垂直范围:***(*.***英寸)。       

*、采用单*来源采购方式的原因及说明：      

在纳米级表面形貌检测中，布鲁克台阶仪能够提供高精度的测量结果，这对于需要精确数据的研究和生产过程来说非常重要。布鲁克台阶仪可以进行多种类型的表面形貌测量，包括但不限于台阶高度、粗糙度、薄膜厚度等。这种多功能性使得*台设备就可以满足多种测量需求。作为*家全球知名的科学仪器制造商，布鲁克提供专业的售后服务和技术支持，这在设备出现问题时可以得到及时的帮助。布鲁克的产品以其稳定可靠而著称，长期使用也能保持良好的性能。      

*、拟定供应商信息      

制造商：布鲁克      

代理商（如果有）：上海铂悦仪器      

公司地址：上海市松江区莘砖公路***号松江高科技园区**幢***室      

*、公示期限      

*个工作日      

*、其他补充事宜：      

*、联系方式      

*.采购人      

联 系 人：沈哲      

联系地址：江苏省南京市玄武区孝陵卫***号      

联系电话：***********      

*.招投标办公室      

联 系 人：吴老师      

联系地址：江苏省南京市玄武区孝陵卫***号      

联系电话：***-********

*、      

单*来源采购专家论证意见表