原子极限微制造集成电路设施设备项目所需光刻机中标公告

序号

名称

品牌

规格或型号

原产地和制造商名称

*

电源

明纬

***-**-**

明纬

*

电源

明纬

***-***-**

明纬

*

***

信捷

***-**

信捷

*

主轴**θ轴电动平移台

简成科技

***-**

简成科技

*

主轴*轴电动平移台

*英精控

******

*英精控

*

镜头*轴电动平移台

*英精控

***-**

*英精控

*

镜头*轴电动平移台

*英精控

***-**

*英精控

*

镜头*轴电动平移台

*英精控

******

*英精控

*

显示器

飞利浦

**.*英寸

飞利浦

**

*******镜头

*******

****-****

芷然

**

*******棱镜

*******

***-****

芷然

**

点光源

深圳阳光视觉

**-***-*

上海*华光电

**

光源控制器

深圳阳光视觉

***-***

上海*华光电

**

工业相机

深圳阳光视觉

*** ****

深圳阳光视觉

**

工控机

研华

***-***

研华

**

光源*英寸

奇点

****-*****

奇点

**

气缸

亚德客

*********

亚德客

**

推拉气缸

亚德客

********

亚德客

**

钣金

美图

定制

苏州美图

**

机加工

美图

定制

苏州美图

**

光学平台

美图

定制

苏州美图

**

****夹具吸盘- *寸

美图

定制

苏州美图

**

光刻*寸夹具

美图

定制

苏州美图

**

真空泵

莱诺

**-****

东莞莱诺

**

常用工具包

美图

内*角螺丝

刀，扳手

苏州美图

**

安装培训、调试检验

美图

/

苏州美图

**

其他

美图

定制包装

苏州美图