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东南大学微纳平台接近 / 接触式光刻系统采购 项目(SEU-ZB-240927)招标公告

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标签: 江苏省招标 光刻系统 设备安装调试
更新时间 2024-12-20 招标单位
截止时间 招标编号
项目名称 代理机构
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东南大学[联系方式]微纳平台接近 / 接触式光刻系统采购 项目(***-**-******)招标公告

发布时间:****-**-** **:**:**阅读量:*
*项目概况东南大学[联系方式]微纳平台接近/接触式光刻系统采购项目的潜在投标人应在*交易平台(*****://***.******.***)获取招标文件,并于****年*月**日**点**分(北京时间)前递交投标文件。*、项目基本情况*.*项目编号:***************.*项目名称:东南大学[联系方式]微纳平台接近/接触式光刻系统采购项目*.*预算金额:***万元(含外贸代理费)*.*最高限价:***万元(不含外贸代理费)*.*采购需求:项目地点:东南大学[联系方式]无锡校区项目概况:微纳平台采购接近/接触式光刻系统*套,主要技术要求如下:最大衬底尺寸:*英寸圆形,并且在配合对应的夹具时,可以向下兼容各类不同尺寸的衬底及不规则小片;支持*“晶圆键合的夹具*套。曝光光源:** ***曝光光源支持 *****(*线), *****(*线), *****(*线),支持输出光谱的任意编辑,可以控制每种波长的输出光强在关闭或者**%~***%之间调节。配置微透镜阵列式光学系统以适应在不同的工艺条件下对消减衍射影响的要求,可在同*设备上实现“高分辨率”和“大景深”两种模式曝光,两种模式随时切换,切换时间在*分钟以内。分辨率:优于*.*** (*线,光刻胶厚度***,真空接触,等间距图形)。 优于*.***(*线,光刻胶厚度***,曝光间隙****,等间距图形)。光强均匀度:优于±*.*%,其中在最大晶圆尺寸区域测量至少*个点。正面对准精度±*.***,背面对准精度±*.***。接受进口产品投标,技术参数详见招标文件。*.*合同履行期限:境外产品:开具信用证后**天内设备安装调试合格。境内产品:合同签订后**天内设备安装调试合格。*.*行业划分:工业*.* 本项目(非专门)面向中小企业采购。*.* 本项目(非专门)面向监狱企业来购。
**.** 本项目(非专门)面向残疾人福利性单位 采购。*.** 本项目不接受联合体投标。*、申请 人的 资格要求*.*满足《 中华人民共 和国政府 采购 法》第***条规 定;(*)具 有独立承担民事责任的 能力 (提供法 人或者其他组织 的营业执照 ;供应商为自然人的,提供其身份证); (*)具有良好 的商业信 誉和健全 的财务会计制度( 提供****年度的 财务报告,或投标截止时间前*个月内银行出具的资信证明);(*)具 有履行合同所必 需的设备和专业技术能力 (供应商根据 履行采购项目合同需要,提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料);(*)有依法缴纳税收 和社会保障资金的 良好记录(提供 参加本次政府 采购 活动 前半年内至少*个月:提供缴 纳税收 的凭证; 提供缴 纳社会保险的凭据 (专用 收据 或社会保险缴纳清单)),依法享受免缴、缓缴的,提供证明材料;(*)参加政府采购活动前*年内,在经营活动中没有重大违法记录(提供承诺书);(*)法律、行政法规规定的其他条件:无*.*落实政府 采购 政策 需满足 的资格要求:无。*.*采购人根据采购项目的特殊要求规定的特定条件,并提供符合特殊要求的证明材料或者情况 说明 :(*)代理 商投标且 所投产品 为进口产品的,还应提供 设备制 造商 或其 驻中国办事机构或其在中国销售总代理的 针对本项目的销售 代理 授权委托书,并 明确承担*切 售前、售后责任。*.*第*.*(*)条 所称重大违法记录,是指供 应商因违法经营受到刑事处罚或者 责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。*.* 供应商在参 加政府 采购 活动 前*年内 因违法经营被禁止在* 定期限内参加政府 采购活动,期限届满的,可以参加政府采购活动。*.*单位负责人为同*人或者存在直接控 股、管理关系的不同供应商,不 得参加同*合同项下的政府采购活动。为采购项目提供整体设计、规 范编制或者项目管理、监理、检测等 服务 的供应商,不 得再参加该采购项目的其他采购活动。*.*拒绝 列入失 信被执 行人、 重大税收违法案件当事 人名 单、政府 采购 严重违法失信行为记录 名单及其 他不符合《中华人民共 和国政府 采购 法》第***条规 定条件的 供应商参与政府 采购 活动 。采购人或者采购代理机构 在进行 资格审查 的同时,依法通过“中 国政府 采购网”、“信用中国”网站等渠道查询投标人信用记录并保存。*、获取招标文件*.*时间:****年**月**日至****年**月**日**:**。(北京时间,法定 节假日除外)*.*地点: 登录*交易平台(以下简称平台)网址为 :*****://***.******.****.*方式:(*)凡有 意参 加投标者,请于获取时间内登录*交易平台按照 要求进行实名会员注册 、 完 善 相关 信 息 及 选 择 项 目 报 名 、 下载 招 标 文 件 , 平 台网 址 为:****://***.******.***。下 载者首次登录平台前,须前往平台 免费注册 ,注册成功且完善相 关信 息后,可以及时参与平台上 所有发布的项目。
*(*)下 载者应 充分考虑 平台 注册 、信 息检查 、资料 上传、购标 确认 、费用支付所 需时间,下载者必须 在获取时间内完成 支付,否则将无法保 证获取招标文件。未按照 本公告要求获 得本项目招标文件的,招标代理机构 不予接收其投标文件。(*)下 载者需要 发票 的, 须通过 平台“ 资金管理”模 块进行 操作 。招标文件服务 费发票由 招标代理机构 开具;下载者选择 开具 增值税普通发票的,可在“资金管理--标书费电子发票”下 载增值税电子普通发票;选择 开具 增值税 专用 发票 的,可在“资金管理--专用发票申请”中 填写相 关信 息;平台 服务 费发票由江苏易交易信息科 技有限公司 开具。非因招标代理机构 或平台 原因 ,发票 *经开具不 予退 换。(*)平台 网站首页“帮助 中心”提供操作手册,下 载者可以下载并根据操作手册提示进行 注册 、登录 等操作 。易交易平台技术支持联系方式供应商技术支持热线:***-***-****(工 作时间:*:**-**:**,**:**-**:**)供 应 商 项 目 参与 操 作 说 明:*****://***.******.***/******/****/****/**/**/********-****-****-****-************.*** 技术支持服务态 度不 满意投 诉热 线:***-***-****转*。(*)联合体投标(如允许 )的, 联合体各方应当指定牵头人,并 授权 其以 自身 名义在平台 办理注册 、下 载文件、 缴纳保证金等 手续 ,其在平台的办理行 为,对 联合体各方均具有约束力。*.*纸质 招标文件服务 费每套***元,售后不退。*、提交投标文件截止 时间、开标时间和地点*.* ****年*月**日**点**分(北京时间)*.*提交投标文件地点及开标地点:南京市鼓楼 区清江 南路**号鼓楼创新广场*栋**楼开标*室投标人前来投标的授权 代表,必须为 本单位员 工,需 提供 投标人 为其缴纳的 截止 至投标截止时间前*个月(*** *年*月-*** *年**月)的社保缴纳证明材料。投标人因故未出席开标会的,视同同意本项目开标结果。*.*投标人应提供投标文件*式*份(正本*份、副本*份),所有投标文件均应密封后递交,同时应提供电子版投标文件*份 (电子 版须为 投标文件正本加盖公章、签 字后形 成***扫描 件, 扫描 件内容应与纸质 投标文件正本完全 *致、*盘形式( 单独 封装)、随纸质正本文件*并提交)。当电子 版文件和 纸质 正本文件不*致时,以 纸质 正本文件为准。 电子版文件用于辅助评标和平台存档,投标人需承担前述不*致造成的不利后果。*、公告 期限自本公告发布之日 起*个工 作日。*、其 他补充事 宜*.*本项目在中国政府采购网网站发布公告。*.*投标人应当从采购代理机构 合法获得招标项目的招标文件。本次招标 请按 “标段”获取招标文件,编制、提交投标文件,并按“标段”开标、评标。*.*勘察现场:无。*、对本 次招标 提出询问,请按 以下 方式联系*.*采购人信息名 称:东南大学[联系方式]
*地址:南京 市* 牌楼*号 联系方式:微纳平台:张老师 ,电话:****-********;实验室与 设备 管理处:刘老师 ,电话:***-********。*.*采购代理机构 信息名 称: 江苏 省设备 成套股份有 限公司地址:南京 市鼓楼 区清江 南路**号鼓楼创新广场*座*楼***室联系人: 李晨娟 、褚燕琳联系方式:(***)********、********邮箱 :*****@****.***.*项目 联系方式联系人: 李晨娟、褚燕琳联系方式:(***)********、********采购代理机构 :江苏 省设备 成套股份有 限公司*** *年**月**日
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