*项目概况东南大学
[联系方式]微纳平台接近/接触式光刻系统采购项目的潜在投标人应在*交易平台(*****://***.******.***)获取招标文件,并于****年*月**日**点**分(北京时间)前递交投标文件。*、项目基本情况*.*项目编号:***************.*项目名称:东南大学
[联系方式]微纳平台接近/接触式光刻系统采购项目*.*预算金额:***万元(含外贸代理费)*.*最高限价:***万元(不含外贸代理费)*.*采购需求:项目地点:东南大学
[联系方式]无锡校区项目概况:微纳平台采购接近/接触式光刻系统*套,主要技术要求如下:最大衬底尺寸:*英寸圆形,并且在配合对应的夹具时,可以向下兼容各类不同尺寸的衬底及不规则小片;支持*“晶圆键合的夹具*套。曝光光源:** ***曝光光源支持 *****(*线), *****(*线), *****(*线),支持输出光谱的任意编辑,可以控制每种波长的输出光强在关闭或者**%~***%之间调节。配置微透镜阵列式光学系统以适应在不同的工艺条件下对消减衍射影响的要求,可在同*设备上实现“高分辨率”和“大景深”两种模式曝光,两种模式随时切换,切换时间在*分钟以内。分辨率:优于*.*** (*线,光刻胶厚度***,真空接触,等间距图形)。 优于*.***(*线,光刻胶厚度***,曝光间隙****,等间距图形)。光强均匀度:优于±*.*%,其中在最大晶圆尺寸区域测量至少*个点。正面对准精度±*.***,背面对准精度±*.***。接受进口产品投标,技术参数详见招标文件。*.*合同履行期限:境外产品:开具信用证后**天内设备安装调试合格。境内产品:合同签订后**天内设备安装调试合格。*.*行业划分:工业*.* 本项目(非专门)面向中小企业采购。*.* 本项目(非专门)面向监狱企业来购。