项目概况
华南理工大学[联系方式]离子束刻蚀系统采购项目 招标项目的潜在投标人应在通过广州中
经招标有限公司发送电子邮件获取招标文件,并于
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年
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月
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日
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点
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分(北京时间)前递交投标文件。
*、项目基本情况
项目编号:
****-**-**********
号
项目名称:华南理工大学[联系方式]离子束刻蚀系统采购项目
预算金额:
***.******
万元(人民币)
最高限价(如有):
***.******
万元(人民币)
采购需求:
序
号
标的名称
数量
(单
位)
简要技术需求或服务要求
(具体详见采购需求)
最高限价
/
单价最高限价
万元(人民
币)
*
离子束刻
蚀系统
*
套
该设备通过物理刻蚀方式,按
掩膜图形、实现金属、半导体
和介质材料的刻蚀。设备具备
射频离子源,
********
进样
室和终点检测等能力。提供相
应的培训和不少于*年的质保
服务。
***
万元
本项目只允许采购本国产品。
本项目采购标的所属行业为:工业
合同履行期限:在合同签订后(
***
)天内完成供货、安装和调试并交付用户单
位使用;
本项目
(
不接受
)
联合体投标。
*、申请人的资格要求:
*.
满足《中华人民共和国政府采购法》第***条规定;
*.
落实政府采购政策需满足的资格要求: