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比比招标网> 招标公告 > 北京航空航天大学集成电路科学与工程学院芯片加工教学研究平台招标公告

北京航空航天大学集成电路科学与工程学院芯片加工教学研究平台招标公告

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标签： 北京市招标 教学研究平台
更新时间 2024-10-30 招标单位
截止时间 招标编号
项目名称 代理机构
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北京航空航天大学集成电路科学与工程学院[联系方式]芯片加工教学研究平台招标公告

发布时间：****-**-** **:**:**阅读量：** 次
北京航空航天大学集成电路科学与工程学院[联系方式]芯片加工
教学研究平台
招标公告
*、项目基本情况
*.
项目编号：
************
（
**************
）
*.
项目名称：北京航空航天大学集成电路科学与工程学院[联系方式]芯片加工教学研
究平台
*.
项目预算金额：
***
万元、项目最高限价（如有）：
***
万元
*.
采购需求：
包号
标的名称
数量
简要技术需求或服务要求
**
芯片加工教学
研究平台
*
套
*、桌面光刻机 需求
*
台
支持
*
英寸及以下单面曝光，最小曝光线宽
* μ*
。
系统需配有全电动控制晶圆承载台，
**±****
，
*
轴
****
，
θ±*°
。
系统需配有
*** ** ***
光源，支持升级为
*** **
光源。
*、小型磁控溅射设备 需求
*
台
*.
要求紧凑型设计，设备总体积小于
******×******×******
。
配备机械泵组，可实现系统的自动抽真空，真空度优
于
****
-*
**
。
*、小型离子束刻蚀机 需求
*
台
支持
*
英寸晶圆的刻蚀，刻蚀速率可调。
配置辅助离子源，离子束能量
***** ******
连续可
调。
配备分子泵组，可实现系统的自动抽真空，真空度
≤
*×**
-*
**
。
*、多功能测试机 需求
*
台
最大磁场强度：≥
*** **@** **
气隙。
磁场均匀性：
≤
± *%@φ***
。
磁场分辨率：
≥
*.** **
。
*、芯片场景演示系统 需求
*
台
系统功能：用于磁性芯片测试，可实现电桥法测试，
并对测试数据进行采集和分析。
系统组成：由左侧触摸屏和右侧芯片测试区组成，测
试区透明盖可开。
*、原子力显微镜 需求
*
台
*.**
方向噪音水平：≤
*.* **
闭环；≤
*.****
开环
*.*
方向噪音水平：≤
*.* **
闭环；≤
*.****
开环
*.**
方向非线性度：≤
*.**%
；
*
方向非线性度：
≤
*.**%
*、小型磁滞回线测量仪 需求
*
台
*.
结构：测试与操作*体机设计无需外置电脑
*.
测试模式：纵向克尔信号、极向克尔信号
*.
样品尺寸：
**×****
*、等离子体去胶机 需求
*
台
*.
腔体材质：
***
不锈钢表面处理 ≥
***
腔体
*.
电源功率：
*-****
旋钮可调
,
独立数字电源
手
自*
体机，显示实
际
功率与
反
射
*.
频
率：
**.** ***
（
偏移
量小于
*.* ***
）
*
、金
相
显微镜 需求
*
台
配备
**
，
***
，
***
，
***
物
镜。
可调光源，支持
反
射，透射
观察
。
*
、旋
涂
机 需求
*
台
*.
转
速
***-*******
*.
转
速
稳定
性
&**;±*%
*.
含
真空泵
*
*、
铝
线
键合
机 需求
*
台
*.
铝丝直径
：
*.* ***-*.* ***/** μ* ~** μ*
*.
焊
线
跨
度：
*-** **(
步
进电机
,
数控调
整
)
*.
焊接弧
度：
*-* **(
数控调
整
)
*
*、辅助设备*套
冰箱
*
台（
展
示
冰箱
****
以
内
可以
在
桌面或桌下，
用于
存储
光刻胶），
***
左右
鼓风干燥箱
*
个
***
左
右真空
干燥箱
*
个含
泵，
*
寸
热板
*
个
注
：
投
标
人必须针
对本项目
所
有
内容
进行
投
标，不
允许拆
分
投
标。
*.
合同履
行
期
限：
合同生效后
*
个月内完
成
供货
、
安装
及调试并
达到验收
条件
。
*.
本项目
是否接受联合
体
投
标：
否
。
*、
申请人
的
资格
要求（
须同时满足
）
*.
满足《中华人民共
和
国政府
采购法
》第
*
*
*
条规定
；
*.
落
实
政府
采购
政策
需
满足
的
资格
要求：
*.*
中
小
企业政策
本项目
专门
面向
中
小
企业
采购。
即
：
提供
的
货物
全
部
由
符合政策
要求的
中
小
企业
制
造
。
*.*
其它落
实
政府
采购
政策
的
资格
要求（如有）：无。
*.
本项目的
特定资格
要求：
*.*
本项目
是否属
于
政府
购
买
服务：
否
。
*.*
其他特定资格
要求
：无。
*、
获取
招标
文件
*.
时间
：
****
年
**
月
**
日至
****
年
**
月
*
日
，
每
天
上午
*:**
至
**:**
，
下
午
*
*
:**
至
**:**
（北京
时间
，法
定节假日除
外）。
*.
地点
：
中
钢招标有限
责任
公
司官网
（
****://*********.*********.***
）。
*.
方式：
（
*
）
注册登录
：
请投
标
人在中
钢招标有限
责任
公
司官网
（
****://
*********.*********.***
）
“投
标
人登录”栏
目
办
理
手
续。
未注册
的
投
标
人请先免
费注册
，电子平台
将协
助对
注册
信
息
进行*
致
性
复核
。
投
标
人注册时填写
的
“申报人姓
名、
申报人手
机号
码”
，
应是
本项目的
联
系
人
，
在
需要
通知
有
关
项
目信
息时
，招标公
司将依
据
投
标
人注册时填写
的
上述联
系方式与
投
标
人取得联
系。
投
标
人参
与不
同
项目的
经办人
可
在
平台
注册
多
个
不
同账户
。（
*
）
文件获取
：
请投
标
人凭注册
的
手
机号
码
、
密码登录
，
获取
并下载电子
文件
（
供应商
如计
划
参
与多
个
采购包，
应按
采购包分
别获取
并下载电子
文件
）。
投
标
人应充
分
考虑
平台
注册
、
资料上传
、平台
复核
、
网上
支
付
等
流
程
所
需的
时间
，务
必在获取文
件截止时间前完
成
所
有
手
续，
否则将
无法
保证获取
招标
文件
。（
*
）
纸
质
文件
可
与本项目
联
系
人确定领取
方式。（
*
）
投
标
人注册
、
文件获取
等系统操作
问题
可
咨询
***-********
。
*.
售
价：
***
元。
*、
提交投
标
文件截止时间
、开标
时间
和
地点
投
标
截止时间
、开标
时间
：
****
年
**
月
**
日
**
点
**
分
（北京
时间
）
。
地点
：
北京
市海淀
区
柏彦
大
厦东附楼
开
标
室
*
。
*、公告
期
限
自本公告
发布之日起
*
个
工作
日
。
*、
其他补充事宜
*.
本项目需要
落
实的
政府
采购
政策
：
节约
能源、
保护
环
境
、
促
进
中
小
企业
及
监狱企业发展
、
促
进
残疾人就业
、
支持
乡村产业振兴
，
政府
采购
政策具
体
落
实情况
详见
招标
文件
。
*、对本
次
招标
提出询问
，
请按
以下方式
联
系。
*.
采购
人
信
息
名 称：北京航空航天大学集成电路科学与工程学院[联系方式]
地
址
：北京
市海淀
区学院路
**
号
联
系方式：
柳老师
，
***-********
采购
人业
务
监督联
系
人
：
陈老师
，
朱老师
联
系方式：
***
-*
***
**
**
，
***
-*
***
***
*
*.
采购
代
理机构信
息
名 称：
中
钢招标有限
责任
公
司
地
址
：北京
市海淀
区
海淀
大
街
*
号
中
钢
国际广
场
**
层
联
系方式：
***-********
*.
项目
联
系方式
项目
联
系
人
：
马娟娟
、
刘健
、
聂娅琼
、
陈俊
电
话
：
***-********
（购
买文件
、
发票咨询
）、
***-********
（项目
问
询
）、
********@******.***
（项目
问询
）
中
钢招标有限
责任
公
司
****
年
**
月
**
日
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