华中科技大学2024年11月至12月政府采购意向公开

序号	采购项目名称	意向编号	采购品目	采购需求概况	预算金额(万元)	预计采购日期	备注
*	****月震计芯片鉴定件及正样件加工与测试	***********	*********其他服务	****月震计芯片鉴定件及正样件加工与测试，****月震计芯片鉴定件及正样件各**个晶圆。采购内容及指标：（*）****光刻显影工艺加工及检测：光刻精度***（*）****金属镀膜工艺加工及检测：镀膜厚度*****±****；（*）****介质膜工艺技工及检测：镀膜厚度******±*****（*）****电镀工艺加工及检测：电镀均匀性优于±***（*）****深硅刻蚀工艺加工及检测：刻蚀深度大于*****，陡直度优于**±*.*度	***	****年**月

*电子束蒸发镀膜机********************真空应用设备电子束蒸发镀膜机，用于半导体工艺中各种金属膜，反射膜的制备，要求系统全自动，稳定可靠，*英寸圆片上成膜不均匀性≤±*%，重复性高，炉间不均匀性≤±*%，工作真空度要求**-*****，镀膜速率*~**埃/*可调，腔体可加热，可公转自转自由切换。蒸发*****金膜片上温度不超过**度。载片量：*英寸圆片不少于**片；*英寸圆片不少于*片。*******年**月*华中科技大学附属中学（同济校区）教学楼修缮工程********************房屋修缮华中科技大学附属中学（同济校区）教学楼部分外墙面开裂、脱落，教室复合地板泡水损坏，瓷砖空鼓，为了给师生提供*个安全、舒适的学习、生活环境，亟需对教学楼进行整体修缮。拟对外墙整体防水保温，室内地面、天棚、墙面、门窗等进行改造。具体以本项目工程量清单及初步设计图为准。计划工期：**天；质保期：整体*年，其中屋面防水质保期*年。质量标准：国家验收规范合格标准。*******年**月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

华中科技大学采购与招标中心

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