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三温区管式 CVD 设备

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标签: 广东省招标 技术研究
更新时间 2024-06-25 招标单位
截止时间 招标编号
项目名称 代理机构
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申购单主题: *温区管式 *** 设备 申购单位: 深圳超滑技术研究所
申购备注: 中标商必须开具增值税专用发票
商品名称 品牌 型号 数量 报价类型 售后服务
*温区管式 *** 设备 贝意克 ***-*****-*** Φ**** * 国内含税价/人民币
规格 *、高温管式炉: *.品牌:贝意克 *.型号:***-*****-*** Φ**** *.结构:开启式 *.最高温度:****℃ 工作温度达 ****℃,主动性炉壳冷却降低炉表温度 *. 额定功率:***;额定电压:** ***-**** ****** *****,**/* *.加热元件:电阻丝 *.智能化 ** 段可编程控 *.炉管尺寸:高纯石英管Φ*********,加热区长度:***+***+*****,恒温区长度:***** *、路供气系 *.工作电压:***~****,** **;最大输出功率:*** *.流量计标准量程:甲烷 ******;氢气 *******;氩气 ********、(气体及量程可选) *.工作压差:*.*~*.****;最大压力:****;准确度:±*.*%*.* *.压力表测量范围:-*.*~*.** ***(*.** ***/****) *.针阀:*** 不锈钢 *.混气罐:Φ******** *.截止阀:Φ*.**** *、真空系统 *.***-** 低真空机组,内部安装 ***-** 机械泵 * 台,进口真空计 * 套(型号 ******英福康 *******),并含有配套使用的波纹管,手动挡板阀,卡箍等连接部件。设备冷态极限真空可达 *.*** 。 *、压力控制系统 *.压力控制系统的控压范围:*****~****** *.电容真空计品牌:成都正华;控制精度:测量值±*% *、安装要求 将管式炉、供气系统、恒压系统组装成*套完整***材料生长设备,并正常运行。
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