山西大学紫外光刻机采购项目（SDDY-220305）单一来源征求意见公示

序号

货物名称

数量

单位

预算单价（元）

预算总价(元)

品牌规格型号及配置技术参数

备注

*

紫外光刻机

*

套

******

******

*.主要技术指标：

**.* 要求****近紫外光源和双通道固定光强和固定功率电源控制器，紫外波长范围***-***** *英寸方形光刻辐照输出光源

**.* 可达到输出紫外光强照度参数如下：

*** ** – **-** **/***

*** ** – **-** **/***

**.* 光刻有效范围： *英寸方形

**.* 光照强度不均匀性指标（以*****波长为参考）: ≤±*% （辐照中心点*英寸范围内）

**.* 光刻最佳分辨率­：≤*.*微米

**.* 对准系统为双***照相对准系统连续视频缩放范围在***-***倍

**.* 对准精度:≤±*.*微米

**.* 显微镜系统需具备位置记忆功能(即显微镜可以自动回到上*次设定的位置)

**.* 具备氮气通入功能(可于掩模板和基板之间通入氮气使其分离)

*.** 需具备携行补偿模式的自动*轴方向水平补偿功能

**.** 对准工作台调整范围：*轴±**.***，*轴±**.***，θ角±*°，*****精度：±*.****度

*.** 曝光模式支持接近式、软接触、硬接触、真空接触；

*.** 配置温度及气流感应器并带有安全控制开关；

*.** 配置氮气通路，可用于掩膜板和基板之间分离

*. 光源部分

*.* 光强控制：恒光强和恒功率选择控制，光强和功率可调；

*. 光强均匀性

*.* ±*%，*****″晶圆基板；

*.* ±*%，*****″晶圆基板；

*.* ±*%，****″晶圆基板；

*.* 紫外光灯源波长范围：***～*****；

*.* 曝光时间：*.*～***.**联系可调，最小调节尺度*.**。

*. 配置

*.* 抗衍射光反射镜及蝇眼棱镜。

*. 对准系统

*.* 配备棱镜对准装置，最小双视场对准间距≦****；

*.* 对准工作台调整范围：*轴±**.***，*轴±**.***，θ角±*°，*****精度：±*.****度；

*. 其他配置

*.* 进口无油真空泵：压力**-******；

*.* 抗震台；

进口

合计

******