6*60cm射频离子源-公开招标公告

*. 招标条件

本招标项目******射频离子源招标人为中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，招标项目资金来自国拨资金，出资比例为***%。该项目已具备招标条件，现对******射频离子源采购进行国内公开招标。

*. 项目概况与招标范围

*.* 招标编号：***************

*.* 招标项目名称：******射频离子源。

*.* 数量：*套。

*.* 本离子源用于大口径光学表面的离子束刻蚀，总体上要求具有较好的稳定性和可控性。在离子束刻蚀过程中，离子源需连续发射出离子束流，同时能够避免由于刻蚀产物的掉落、挥发，离子源自身温度的提升等因素造成的离子源故障。在离子束刻蚀过程中，样品连续运动而不影响离子源的工作稳定性，离子源能连续工作且发射出稳定的离子束流。离子源电源的工作参数及开关能够通过总线或串口控制。

*.*.*束流尺寸≥******矩形束流射频离子源；

*.*.*栅网形式：*栅准直型；

*.*.*射频型离子源工作气体：氩气、*氟甲烷等反应气体；

*.*.*射频功率：≥*****；

*.*.*连续免维护工作时间：≥***小时

*.*.*无灯丝中和器。

*.* 交货地点：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所。

*.* 交货期：合同生效后*个月，*个月内安装调试完成。

*. 投标人资格要求

*.* 本次招标要求投标人为独立法人单位，并具有与本招标项目相应的供货能力。

*.*本次招标不接受联合体投标。

*.*本次招标不接受代理商投标。

*.*投标人必须向招标代理机构购买招标文件才具有投标资格。

*. 招标文件的获取

*.*凡有意参加投标者，请于****年*月**日至****年*月*日**时(北京时间)，登*中招联合招标采购平台（网址：***.********.***.**,注册操作咨询电话***-********）购买并下载招标文件，现场不予受理。

*.* 招标文件每套售价***元(从中招联合招标采购平台下载电子发票），售后不退。

*. 投标文件的递交

*.*投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为****年*月**日*时，地点为长春光机所专家公寓*楼会议室。

*.*逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。

*. 发布公告的媒介

本次招标公告同时在中招联合招标采购平台和中国招标投标公共服务平台上发布。

*.  联系方式

招标人名称：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

地址：长春市东南湖大路****号

联系人：李光建

电话：****-********

传真：****-********

招标代理机构：中科信工程咨询（北京）有限责任公司

地址：北京市海淀区金沟河路与采石北路*字路口东南角**号大楼*层

邮编： ******

售卖联系人：童女士

电话：***-********

项目负责人：刘健飞

联系电话：***-******** 

传真：***-********

电子邮件：**********@******.***

****年*月**日