等离子体增强化学气相沉积设备（PECVD）国际招标公告(1)招标

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投标截止时间：****/*/** *:**:**

距离报名结束还剩

招标文件

入围供应商：*家

招标产品

产品名称	采购量	产品描述	产品文件	图片
等离子体增强化学气相沉积设备	*批

供应商要求

发票要求：

不用发票 （备注：专票资质可以报普票要求）

供应商性质：

注册资金：

无特殊要求

经营地址：

无特殊要求

商务条款

投标要求：

收获地：

&**;福建

交货期：

*天

详细说明

*、招标条件
项目概况:包*自动曝光机*
包*匀胶机*
包*显影机**
包*品目*去胶清洗机**
包*品目*去蜡清洗设备*
包*品目****清洗机(*槽)*
包*品目****清洗机(*槽)*
包*品目*酸类清洗机（*槽***+*槽***）*
包*品目*酸类清洗机（*槽***）*
包*品目*酸类清洗机（*槽***+*槽***）*
包*品目*酸类清洗机（*槽***+*槽***洗版）*
包*品目*酸类清洗机（*槽***+*槽***洗版）*
包*品目*去蜡清洗设备 *
包*直立式旋干机**
包*直立式旋干机**
包*自动干法刻蚀机（***）**
包*溅射镀膜系统*
包**快速退火炉*
包**电子束蒸镀系统**
包**合金炉*
包**等离子体增强化学气相沉积设备（*****）**
包**蒸镀***反射膜工艺(***) *
包**等离子去胶机（*****）**
包**膜厚测试仪*
包**金相显微镜*
包**全自动目检机***（***）*
包**金属溅射镀膜系统*
包**椭偏仪*
包**品目*高温老化系统（*****/**/***）*
包**品目*常温老化系统（*****/**/***）*
包**品目*高压老化电流源（*****/**/***）*
包**自动推力机*
包**品目*吸附式氮气纯化器*
包**品目*吸附式氢气纯化器*
包**品目*吸附式氨气纯化器*
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
*、招标内容
招标项目编号:****-************/**
招标项目名称:等离子体增强化学气相沉积设备（*****）
项目实施地点:中国福建省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
包*	自动曝光机	*	单台月产能大于*****片，计算方法：***********.**(系数) (含套刻产能：*秒曝光时间，及基片厚度补偿时间)
包*	匀胶机	*	产能：单台月产能≥*****片 单台月产能计算公式：***(*小时产量)***（小时）***（天）**.**(系数) ≥*****片
包*	显影机	**	显影***单元≥*组
包*品目*	去胶清洗机	**	制程槽：***（循环）**、***（循环）**、***
包*品目*	去蜡清洗设备	*	去蜡清洗设备必须手动自动可切换操作
包*品目*	***清洗机(*槽)	*	制程槽：***（循环）**、*****
包*品目*	***清洗机(*槽)	*	制程槽：***（循环）**、*****
包*品目*	酸类清洗机（*槽***+*槽***）	*	制程槽：*****（循环）、*****（循环）、*****
包*品目*	酸类清洗机（*槽***）	*	制程槽：***（循环）**,*****
包*品目*	酸类清洗机（*槽***+*槽***）	*	制程槽：*****（循环）、*****（循环）、******,*****
包*品目*	酸类清洗机（*槽***+*槽***洗版）	*	制程槽： ***（循环）**,******
包*品目*	酸类清洗机（*槽***+*槽***洗版）	*	制程槽： ***（循环）**,******
包*品目*	去蜡清洗设备	*	管路系统配置于设备后下方之管路区
包*	直立式旋干机	**	机台马达需采用无碳刷直流马达
包*	直立式旋干机	**	机台马达需采用无碳刷直流马达
包*	自动干法刻蚀机（***）	**	单台两套***工艺腔室
包*	溅射镀膜系统	*	靶材与衬底之间有挡板保护（工艺步骤前挡板开启保护，保证低离子损伤）。
包**	快速退火炉	*	芯片承载盘(***) ：***材料可放置*吋晶片*片（含）及以上
包**	电子束蒸镀系统	**	蒸发源坩埚材质：钨（******），蒸镀过程相邻坩埚不会互相污染。
包**	合金炉	*	可加工管数 ：*个以上（含*个）
包**	等离子体增强化学气相沉积设备（*****）	**	气体流量计包括但不限于****, ***, **, ***, ***, **气体。
包**	蒸镀***反射膜工艺(***)	*	射频中和器：最大射频功率：****（**.*****）最大中和電流：******
包**	等离子去胶机（*****）	**	生产治具： *用*备
包**	膜厚测试仪	*	测量厚度：***~****
包**	金相显微镜	*	最大可放置样品高度:****，实现更大高度样品观察；
包**	全自动目检机***（***）	*	可用于*英寸晶片尺寸使用，同时兼容*寸
包**	金属溅射镀膜系统	*	具有单独**，单独**电源
包**	椭偏仪	*	微光斑（**°入射角）：最小尺寸≤***** * *****。
包**品目*	高温老化系统（*****/**/***）	*	配*** ***专用测试排线(含耐高温连接器，最高耐温不小于***度）
包**品目*	常温老化系统（*****/**/***）	*	配*** ***专用测试排线(含耐高温连接器，最高耐温不小于***度）
包**品目*	高压老化电流源（*****/**/***）	*	试验数据可以保存于** 机中，便于调用，可输出试验报表，绘制数据变化 曲线。
包**	自动推力机	*	用途：适用于*寸片、*寸片及*寸片推力及拉力作业，以验证电极结合度状况
包**品目*	吸附式氮气纯化器	*	纯化对象及纯化后纯度：氮气/**.*******%
包**品目*	吸附式氢气纯化器	*	纯化对象及纯化后纯度：氢气/**.*******%
包**品目*	吸附式氨气纯化器	*	纯化对象及纯度：***/**.*******%

*、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:*、投标人如为代理商，则必须提供企业法人营业执照副本；
*、投标人如为代理商，则必须提供制造商授权函（如果是针对本次项目的专项授权则必须是正本原件，不接受彩打件。如果是非专项授权可以提供复印件，原件备查）
*、投标人开户银行在开标日前*个月内开具的资信证明原件或该原件的复印件
*、如果投标文件是由单位负责人授权的被授权代表签署，则需要提供《单位负责人授权书》，授权书中必须要有单位负责人的手写签名或法人章。（如果是针对本次项目的专项授权则必须是正本原件，不接受彩打件或复印件。如果是非专项授权可以提供复印件，原件备查）
如果投标文件直接由单位负责人签署，则不需要授权书。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以