绝缘型卷丝轴绝缘片行星减速器坩埚【下轴】丝杠**-**多楔带,**',*****-*炉室炉盖加热互锁限位开关组件限流器,流量*****主室下降限位开关组件上装式滑电环****金属软管,*=*****汇川伺服电机主真空管线水冷行星减速器晶转、埚转伺服电机*-*******真空计晶转多楔带只升副室限位开关组件相机顶部玻璃主真空管线水冷副室左旋限位开关组件主室半升限位开关组件绝缘片真空管线,*通阀臂加热电极相机底部玻璃埚升编码组件*****花键轴锁紧环限位开关组件埚升丝杠防护波纹管副室下腔胶管组件高真空用电磁阀副室半升限位开关组件籽晶编码器组件副室变速限位开关组件金属软管前观察窗玻璃(下)波纹管行星减速器副室上腔胶管组件绝缘片气缸埚升减速机限位开关电极衬套前观察窗玻璃(上)晶升磁流体清洁口盲板气缸****真空挡板阀气缸热电偶组件陶瓷绝缘片紧凑型气缸卷丝轴导向轮联轴器主室下腔胶管组件坩埚旋转磁流体加热电极视窗玻璃温控开关阀板主室右旋限位开关组件下限位开关组件上限位开关组件称重传感器组件热屏波纹管,****,*****主室上腔胶管组件坩埚轴视窗玻璃副室上升限位开关组件真空计旋转水接头热屏主动侧升限位晶升、埚升伺服电机副室旋转中限位开关组件清理口盲板绝缘片副室下降限位开关组件主室左旋限位开关组件对射玻璃绝缘片晶转磁流体副室右旋限位开关组件主室上升限位开关组件主真空球阀,*******热屏主动侧降限位