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比比招标网> 企业采购 > 双面光刻机（JJ2020000056）采购公告
| 更新时间 | 2020-09-16 | 招标单位 | 我要查看 |
| 截止时间 | 我要查看 | 招标编号 | 我要查看 |
| 项目名称 | 我要查看 | 代理机构 | 我要查看 |
| 关键信息 | 我要查看 | 招标文件 | 我要查看 |
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双面光刻机（************）采购公告
| 项目名称 | 双面光刻机 | 项目编号 | ************ |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | ****-**-** **:**:** | 公告截止日期 | ****-**-** **:**:** |
| 采购单位 | 福州大学[联系方式] | 付款方式 | 详见提示信息 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后**个工作日内 | 到货时间要求 | 内贸：合同签订后**个工作日内 |
| 预 算 | ￥ ***,***.** 未公布 | ||
| 发票要求 | 增值税普通发票 增值税专用发票 | ||
| 含税要求 | |||
| 送货要求 | |||
| 安装要求 | |||
| 收货地址 | 福州大学[联系方式]机械工程及自动化学院 | ||
| 供应商资质要求 |
符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件 |
||
| 公告说明 | |||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 双面光刻机 | * | 台 | 光学仪器 无 无 |
| 品牌 品牌* | 福州南光 |
|---|---|
| 型号 | *-**型 |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 预算 | ￥ ***,***.** |
| 技术参数及配置要求 | 主要配置*、高均匀性蝇眼曝光头*).采用****直流球形汞灯*).出射光斑≤φ******).光强≥*****).光的不均匀性≤±*%（ Φ*****范围）；*).光强度可通过光阑或汞灯电流调节，**～****任意调节；*).曝光时间采用*～***.*秒（日本*****生产）时间继电器控制。*).对准精度：±*.*μ**).套刻精度：*μ**、观察系统*).为上下各两个无级变倍、高分辨率单筒显微镜上装*个***摄像头通过视屏线连接计算机到**″高清液晶显视屏上。*).单筒显微镜为*.**～***连续变倍显微镜；*)***摄像机靶面对角线尺寸为：*/*″,***；*).采用**″液晶监视器，其数字放大倍率为**×*=**倍；*).观察系统放大倍数为：*.*×**=**倍（最小倍数） **×**=***倍（最大倍数）；*).上下*组***的切换，在液晶显视屏上切换。*、计算机硬软件系统：*).鼠标单击“开始对准”，能将监视屏上的图形记忆下来，并处理成透明的，以便对新进入的图形进行对准；*).鼠标双击左面或右面图形，就分别全屏显示左或右面图形。*).非常特殊的板架装置：*).该装置能分别装入***×***板架或***×***板架，对版进行真空吸附；*).板架能作*运动， *可作±****运动；*).该装置安装在机座上，能围绕*点作翻转运动，相对于承片台而言作上下翻转运动，以便于上下版和上下片；*).该装置来回反复翻转，回到承片台上平面的位置，重复精度为≤±*.*μ；*).该装置具有补偿基片楔形误差之功能，保证版下平面与片上平面之良好接触，以便提高曝光质量。*、承片台调整装置：*）配备有Φ**、Φ***承片台各*个，这*种承片台有*个长方孔，下面*个***通过该孔能观察到版或片的下平面；*）承片台能作*、*、θ运动，*、*调节范围±***，θ调节范围±*°；*）板架能作*运动， *调节范围±***；*).承片台密着环相对于版，能实现“真空密着”：真空密着力≤-*.*****为硬接触；真空密着力≤-*.*****～-*.*****为软接触； 真空密着力≤-*.*****为微力接触；*、干式静音气压泵*为防止该设备运行时污染实验室净化环境，需安装在净化室外。由于安装条件特殊，需投标人在投标前现场勘查，并经使用人书面确认后方可参与投标。*）排气量:*.*** *）压力:*.**** *）噪音:****（*）*) 洁净度：无油 粒径范围：≦*.***,*.空心阴极源*为防止该设备运行时污染实验室净化环境，需安装在净化室外。由于安装条件特殊，需投标人在投标前现场勘查，并经使用人书面确认后方可参与投标。*评标现场需提供空心阴极离子发射枪及电源样品各*套，无法提供的的给予作为无效标处理；*）电源：阴极**、*～ ***、*** ，*）阳极**、 *～****、*）束流*~***，电源采用 恒功率源。*）离子发射枪：采用带有氧化物发射体作为插入件的空心阴极,*）发射枪枪体厚度≥* **。*）发射枪直径≥*****，高度≦*** **。*）发射枪角度可调。*）中心磁场强度**±* **，需提供现场测试。*、仪器上方需配涡旋式排风罩，让有害气体及时排出，减少对人体伤害。* 由于实验室结构特殊，管路分布等需投标人在投标前现场勘查，并经使用人书面确认后方可参与投标。附属设备及备品备件相关图纸（原理图和电控图）。*、备品：*）真空软管（φ***）***；*）电磁阀*只；*）紫外光强计*只；*）真空泵*台；*）****直流高压球型汞灯*只。*、技术资料：*）使用说明书；*）合格证。*、维护工具：专用维护工具*套。 |
| 参考链接 | |
| 售后服务 | 质量保证期:验收合格之日起算*年服务网点:国内维修响应时限:报修后**小时内响应备用机:**小时内无法排除故障，免费提供同档次备用机 |
福州大学[联系方式]
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报名地址:******************
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