磁控溅射仪（JJ19000974）采购公告

标签：辽宁省采购磁控溅射

更新时间	2019-10-16	招标单位	我要查看
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项目名称	\* 磁控溅射仪\*	项目编号	\* *********\
公告开始日期	\* **-- ::\*	公告截止日期	\* **-- ::\*
采购单位	\* 东北大学[联系方式]\*	付款方式	\* 预付*%货款余款货到验收合格后支付\
联系人	\* 中标后在我参与的项目中查看\*	联系电话	\* 中标后在我参与的项目中查看\*
签约时间要求	\*	到货时间要求	\* 签约后**天\
预算	\* \* ￥ *,.\ \* \* 未公布\* \*
收货地址	\* 沈阳市和平区文化路号巷号\
供应商资质要求	\* 符合《政府采购法》第**条规定的供应商基本条件 \ \*
公告说明	\*

\* 采购清单*\*

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采购商品	采购数量	计量单位	所属分类
\* 磁控溅射仪\*	\* \	\* 台\*	\* \* 机电设备\* 无\* \* 无\*

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\* 品牌\* 品牌\	\* 定制\*
型号	\* 定制\*
\* 品牌\	\*
型号	\*
\* 品牌\	\*
型号	\*
预算	\* ￥ *,.\
技术参数及配置要求	\* 、技术指标：、极限真空度为：.×-（新设备、空炉、冷态）。、保压：从极限真空到×-** 大于等于小时（新设备、空炉、冷态）。、工作周期：从大气抽到.×-≤***。、真空室最高耐热温度**℃。、设备主要技术参数：、真空室：真空室内部净尺寸Φ×**，采用立式前开门“”型结构，采用优质*****不锈钢（太钢集团或酒钢集团优质不锈钢）制造，双层冷却水套，上底与下底都有冷却水套，水套中加有定向导流槽，确保冷却均匀致。、内衬板：内衬板为双层，主要用来隔热，材料为*不锈钢，同时外层可拆卸互换使用，便于日后清洗，采用快速安装方式拆装。、旋转基片台：采用既有公转又有自转，下坐式基片台；传动采用伺服电机+减速机+变频器，轴密封采用磁流体密封，确保在室内*℃时，连续稳定工作。转速可调范围: - 转/(公转)。、抽气机组：-*型分子泵台，*-机械泵台，阀门管道材料为不锈钢，阀门采用气动挡板阀-*高真空气动挡板阀台；*-高真空气动挡板阀台；*-高真空电动光栅阀台；-高真空气动放气阀台。、加热系统：采用红外加热管加热。真空室加热温度范围：室温至**度，控温精度±℃, 具有升温速度快等特点，功率约为*左右，变送输出，控温精度±℃。、磁控系统：采用矩形平面靶，靶面尺寸：×***左右，以实际设计为准；永磁间接水冷式，支持直流，靶可兼容直流中频、射频；数量：套。、磁控电源：采用直流溅射电源，额定功率为*，数字式直流电源数显可调控，数量台（德国霍廷格）。、中频磁控电源：采用双脉冲中频磁控电源，功率，最高电压**，电流可调。台。、偏压电源：采用单脉冲偏压电源，脉冲频率**，功率*，分档，其中***,* 档；另档-*，。平均电压可显示，占空比连续可调范围-%，手动自动双路控制，数字显示。、离子源系统：配有阳极层离子源，其中有圆环形发生源头，台。、阳极层离子电源：输入电压*， -***；输出电压-****；负载电压-****；输出电流-**输出特征：恒流、恒压模式；风冷，通讯接口-*模拟量。、充气系统：采用路质量流量控制器,质量流量阀采用北京星华创品牌台，日本科赋乐台；氩气******，台（星华创）；氮气****** ，台（星华创）；乙炔******,台（日本科赋乐）；同时配有台电磁截止阀及进出不锈钢混气装置，气管材料选用优质管。、真空测量：采用复合真空计台，其中包括-电离规只，-*热偶规只。*、薄膜规只，测量范围.-(美国英福康)。、冷却系统：**风冷冷水机台。、电控系统：全自动控制主体其配置：寸彩色触摸屏、日本欧姆龙*。由复合真空计台包括：高真空规支，低真空热电偶规支。*、随机赠送整机密封件及易损耗件套。\* \*
参考链接	\*
售后服务	\* 服务网点:本地（沈阳）电话支持:***小时服务年限:服务时限:报修后*小时商品承诺:原厂全新未拆封正品①当货物到达需方指定的交货地点后，供需双方依据设备供货清单共同对设备进行开箱验收，并对设备的数量、品质进行逐项检查。②在安装、调试过程中，供方应对需方技术人员所提出的技术问题给予满意的答复，并向需方提供安装调试过程中的各种文档资料,以便需方今后能掌握操作方法和维护方法；③供方派技术工程师对需方人员进行技术培训。内容包括：实验方法原理、实验操作、仪器维护、安全要点以及其他相关内容；达到独立操作及简单问题都可以独立处理的程度。④安装调试和培训期间发生的费用由供方承担。\

东北大学[联系方式]

****-**-** **:**:**

报名地址:******************

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