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比比招标网> 企业采购 > 原子层沉积系统（GY201905852）延期公告
| 更新时间 | 2019-08-29 | 招标单位 | 我要查看 |
| 截止时间 | 我要查看 | 招标编号 | 我要查看 |
| 项目名称 | 我要查看 | 代理机构 | 我要查看 |
| 关键信息 | 我要查看 | 招标文件 | 我要查看 |
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| 项目名称 | 原子层沉积系统 | 项目编号 | *********** |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | ****-**-** **:**:** | 公告截止日期 | ****-**-** **:**:** |
| 采购单位 | 山东大学[联系方式] | 付款方式 | 国产设备与家具：货到验收合格后付款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | ||
| 预 算 | ￥ ***,***.** 未公布 | ||
| 收货地址 | 山东大学[联系方式]青岛校区**楼 | ||
| 供应商资质要求 |
符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件 |
||
| 公告说明 | 由于该项目报价供应商数量不满足要求，本项目延期至****-**-** **:** |
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 原子层沉积系统 | * | 台 | 机电设备 无 无 |
| 品牌 品牌* | 迈纳德 |
|---|---|
| 型号 | ***-****-**** |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 预算 | ￥ ***,***.** |
| 技术参数及配置要求 | 原子层沉积设备(*寸*液*固，预留*路液源)*、配置及组成原子层沉积设备至少包含以配置*) *套热型原子层沉积设备主机*) *套热型反应腔*) *套常温液源管路*) *套加热源管路*) *套用于吸附残留前驱体源的热阱*) *套机械泵*、技术规格参数：*.* 总体性能*) 适用于标准的实验室环境条件，对实验室环境条件无特殊要求和限制；*) 控制系统：***+触摸屏。*) 设备可用于沉积单*薄膜、纳米叠层与梯度薄膜的沉积和掺杂质等；可在纳米孔洞、台阶等高深宽比的纳米结构上沉积薄膜，具有良好的台阶覆盖性；*) 样品上沉积氧化铝薄膜膜厚非均匀性≤±*%，具体见验收指标。*) 可制备的材料：如*****、****等各类金属氧化物薄膜，以及镍铜等部分金属薄膜。提供满足以上材料的前躯体材料名称以及满足所制备材料的要求，提供相应材料的工艺菜单。*.*反应腔系统：*) 样品台直径*英寸（*****），高度≥** **。可以生长*英寸及以下尺寸样品。*) 反应腔采用内外双层加热器设计，*** 控温，样品台加热温度室温至***℃可控，控制精度±*℃。*) 腔室本底真空可达到***，满足原子层沉积系统的要求。*) 腔体只需变更腔盖，原系统无需返厂改动即可完成等离子体系统升级。*) 多种沉积模式：可以在不同的基片上沉积薄膜，包括平面基片和高纵深比样品，且可以实现氧化物精确比例掺杂沉积，如可实现制备***等.*.*前驱体源输送系统*) 配备*路前驱体源主管路，其中*路用于常温高前驱体源输送，*路用于加热前驱体源输送；*) 预留*路前驱体管路，以备后期升级。*) 前驱体源主输送主管路要求配备加热套，所有管路均包裹在加热套中，最高加热温度可达***℃。配置温度传感器，温度控制精度满足±*℃；*) 每路管路配备******** ***专用阀门，加热器内置于阀座内，最高加热温度可达***℃，温度控制精度满足±*℃。***阀门外部配备保温套；*) 工艺气体管路采用电抛光不锈钢材料，接头必须采用***金属密封；*) 载气管路采用**或者**气体，通过质量流量控制器控制；*) 配备惰性气体自清洗系统，在控制界面中可以设置自动清洗的次数；*.* 常温源装置及管路*) 源瓶采用***不锈钢材料，容积为** **，配备手动阀。*.*加热源装置及管路*) 配置可拆卸加热套，最高加热温度可达*** ℃。配置温度传感器，温度控制精度满足±*℃；*) 源瓶采用***不锈钢材料，容积为** **，配备耐高温波纹管手动阀*个；*.* 固态加热源装置及管路*) 配置可拆卸加热套，最高加热温度可达*** ℃。配置温度传感器，温度控制精度满足±*℃；源瓶采用***不锈钢材料，容积为*** **，配备耐高温波纹管手动阀*个；配备*******载气，载气使用******设计以确保气压的稳定性，配备独立流量计精确控制流量；*.*真空系统：*) 配备机械泵抽真空，要求抽速不小于** **/*，本底真空*.****-*****；*) 配备进口压力传感器，检测范围：****-*.****-* ****，并配备真空计保护阀门，阀门具备在工艺过程中自动开闭保护真空计的功能，以延长真空计使用寿命；*) 配备腔体自动抽气阀门，软件控制自动抽气和自动充气；*) 真空抽气管道可以烘烤至***℃，且真空泵前级配置热阱，加热温度***℃，控制精度±*℃；*.*控制系统*) 控制系统要求使用网络通信***控制方式，控制元器件之间有足够的散热空间。设备的电气控制系统安全可靠，维护方便；*) 控制系统要求可触屏操作，控制软件可执行自动抽气、自动充气、自动清洗、自动排空；*) 可实时设定样品台加热温度和所有加热管路及阀门温度；*) 可实时设置气体进气阀门开关及工艺气体流量；*) 可实时显示并记录真空度、各加热温度及工艺气体流量；*) 可实时显示及查询系统压力曲线；*) 可提供弹性工艺配方设置，自由选择工艺中的前驱体源接口以及参与工艺的顺序*) 软件控制系统中可自行切换多种沉积模式，包括连续流动的快速沉积模式、适合于高纵深比结构镀膜的暴露模式、适合多元化合物精确比例掺杂沉积的专业模式*．验收指标：厂家须提供氧化铝薄膜的标准工艺配方，前驱体为*甲基铝+水，按以下内容进行现场制备与验收：薄膜均匀性：在*英寸晶圆上沉积约****厚氧化铝，以晶圆上*个均匀分散点（上、下、左、右、中心*点，每两点间距不小于**毫米）进行椭偏仪测试膜厚， *英寸晶圆上薄膜均匀性≤±*%。*、其他伴随服务*）提供备用配件*套（含腔体密封圈、垫片等耗材）、使用手册、说明书、维修手册，标准工艺手册等各*套。*）质保期*年，软件终身免费升级。*）设备生产过程符合*******质量管路体系认证要求 |
| 参考链接 | |
| 售后服务 | 质保期限:*年 |
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