发布公告
| 更新时间 | 2021-11-02 | 招标单位 | 我要查看 |
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蒸发镀膜系统
发布时间：****-**-**
采购单位：华南师范大学 | 联系人：*********** |
*-****：无 | 联系电话：*********** |
传真：无 | 联系手机：*********** |
邮编：无 | 平台联系电话（异议）：***-********； |
项目名称： 蒸发镀膜系统 | 竞价编号：**************** |
采购类型：货物类 | 开始时间：****-**-** **:**:** |
项目预算(元)：***,***.** | 结束时间：****-**-** **:**:** |
| 序号 | 产品名称 | 产品类别 | 标配 | 单位 | 数量 | 应标品牌 | 应标型号 | 产地 | 偏离说明 | 详情 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| * | 蒸镀镀膜系统 | 真空镀膜机及附属装置 | 是 | 台 | *.** | 沈阳科诚 | **-**** | 辽宁沈阳 | 无偏离 | |
| 规格配置：*、真空室腔体:*套 *) 外形：***优质不锈钢*形前后开门（后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉方门）真空室腔体*套（真空室内部尺寸**********），前后门各配*****视窗*套； *) 底部：金属源接口*套，有机源接口*套，****-***风冷复合分子泵接口*套，****照明接口*套以及美国*****水冷膜厚探头接口*套； *) 顶部：样品台接口*套，电动挡板接口*套，****气动角阀接口*套； *) 左侧：****气动预抽角阀接口*套。 *、金属/有机源系统：*套 *) 金属蒸发源*套：水冷铜电极*组，兼容蒸发舟（钨、钼和钽舟）和螺旋丝，免工具拆卸，配气动挡板，***可控硅调压电源*台（数字显示），电流调整精度**（微调），功率满足常见的金属以及金属氧化物的蒸镀； *) 有机蒸发源*套：***石英舟，温控电源*台（温控表显示精度*℃），温度区间：室温-***℃（控温精度±*℃），配气动挡板； *) 隔板：蒸发源相互独立，隔板分隔，避免交叉污。 *、样品台系统：*套 *) 基片旋转：转速*～**转／分连续可调； *) 基片升降：电动升降，衬底与蒸发源间距***-*****通过触摸屏连续可调； *) 基片挂架：***×*****基片台，比如可承载最多**片**×****基片； *) 基片挡板：电动挡板。 *、膜厚检测系统：*套 *) 膜厚仪：美国*******，******两通道石英晶振膜厚监控仪*套； *) 膜厚探头：美国*****水冷膜厚探头*套。 *、其他技术参数： *) 供水：小型冷水机，冷却水温度*℃～**℃，工作环境温度：**℃～**℃； *) 极限真空：优于*×**-***，大气至*×**-***时间优于**分钟（充干燥氮气），关机**小时真空度≤****。 | ||||||||||
| 售后服务：质保*年 | ||||||||||
| 序号 | 名称 | 上传时间 | 大小 | 操作 |
|---|---|---|---|---|
| * | **-****-竞价参数.*** | ****-**-** **:**:** | 无 | 登*后可下载 |
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