比比招标网> 变更公告 > 自动裁膜机国际招标澄清或变更公告(19)
更新时间 | 2018-11-22 | 招标单位 | 我要查看 |
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序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
* | 全自动裂片机 | **台 | 设备产能:≥*片/小时(*英寸****×****,隐切工艺); | |
* | 陶瓷盘清洗机 | *台 | *次清洗盘数≧*盘 | |
* | 甩干机 | **台(套) | 晶圆尺寸:适用于*/* **** | |
* | ******清洗设备 | **台 | 制程温度: <**℃(* ***) | |
* | ***退火炉 | *台 | 产品尺寸: *吋、*寸产品及碎片 | |
* | 自动曝光机 | *台 | 预对准精度:精度≤**μ*。 | |
* | 自动匀胶机 | *台 | 晶圆尺寸:适用于* /*****且* /*****兼容生产,切换生产无需硬件调试。 | |
* | 自动显影机 | *台 | 具备***清洗功能及洗背功能,且晶片清洗洁净程度必须满足工艺要求 | |
* | 扩张机 | *台 | 扩膜倍数范围:*~*.*倍圆度; | |
** | 自动裁膜机 | *台 | 单边切割斜裂宽度小于***; | |
** | 激光划片机-双焦点 | *台 | 单边切割斜裂宽度小于***; | |
** | 倒装测试机 | *台(套) | 带自动清针功能,自动校准功能 | |
** | 全自动刮边机 | *台 | 探头测厚精度±*(**) | |
** | 全自动单面化学机械抛光机 | *台 | 设备产能: 月产能 ≥***** | |
** | 全自动上蜡机 | *台 | *次加工片数*"≥**片, *"≥*片 | |
** | 全自动研磨机 | *台 | 研磨作业时间&**;***** | |
** | 全自动硬抛机 | *台 | *次加工片数*"≥**片, *"≥*片 | |
** | ***芯片目检机 | *台(套) | 可加工***** 尺寸:*-*寸*****,*寸产品可进行升级; | |
** | 晶圆自动翻转倒膜机 | *台 | 可生产单颗晶粒尺寸大小:***.*μ* ****μ*~****μ* *****μ*; | |
** | 全自动分选机 | *台 | 扫描判别率: **.**%(误判率<*.**%); | |
** | ***清洗机 | *台(套) | 节水功能:节水**%以上 | |
** | 去光阻清洗机 | *台(套) | 温控保护:*道保护装置 | |
** | ***+***半自动蚀刻清洗机 | *台(套) | 节水模式:节水**%以上 | |
** | ***缺陷及反射率检测设备 | *台(套) | 稼动率(*年内):大于**% | |
** | 光刻版自动清洗机 | *台 | 产能:≥****/* | |
** | 膜厚测试仪 | *台(套) | 设备验收合格后*季度内运行稼动率需大于**% |